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液氬供應系統主要由三部分組成：一、50m3
液氬儲罐，二、CV1500液氬汽化器，三、氬氣調壓閥組。設備主要技術性能如下：
一．設備簡介
50m3液氬儲罐
有效容積：50m3。
設備總重：69762 Kg(液氬)
較大工作壓力：1.6 MPa
設計壓力（內筒）：1.7MPa
容器(內筒)安全閥(S1)設定壓力：1.6MPa
蒸發率：<=0.2%/日。
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